导师姓名 程秀兰 导师性别 女
职务职称 副教授.
所在院系 微电子学院
所属学科 电子科学与技术
研究方向 微电子器件与集成电路工艺 生物电子芯片
联系电话 ************-1033
电子邮箱 xlcheng@sjtu.edu.cn
个人简介
副教授,上海交通大学微电子学与固体电子学博士。先后曾在铁道部戚墅堰机车车辆工艺研究所、上海贝岭股份有限公司和中芯国际集成电路制造有限公司( SMIC)逻辑技术发展技术与制造中心(LTDM)工作,从事技术研发工作。曾负责完成了铁道部铁路机车车辆关键零部件热处理专家系统的研发;作为核心研发人员,参与了SMIC 0.13um逻辑产品关键工艺技术的研发和90nm逻辑产品前期性工艺技术的研发。现已在国内外期刊上发表论文40余篇,其中EI检索10篇(其中第一作者7篇);拥有国家发明专利1项。
主要研究方向:新型半导体工艺与器件;集成电路制造工艺与材料。
